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技術(shù)文章

鎢燈絲掃描電鏡的優(yōu)缺點(diǎn)

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  鎢燈絲掃描電鏡的總發(fā)射電流和光斑大,抗干擾能力和穩(wěn)定性好。可在低真空下不充電對(duì)非導(dǎo)電樣品進(jìn)行成像,并可用于形貌觀察、微觀結(jié)構(gòu)分析,以及斷囗形貌分析。
  優(yōu)勢(shì):
  1、操作簡(jiǎn)單:設(shè)備結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單,操作界面友好,易于上手。維護(hù)和調(diào)試過程也相對(duì)簡(jiǎn)單,減少了操作人員的培訓(xùn)成本和時(shí)間。
  2、適應(yīng)性強(qiáng):可以在相對(duì)較低的真空度下工作(<10Pa),適用于多種不同類型的樣品。
  3、應(yīng)用廣泛廣,成本較低:鎢燈絲掃描電鏡的整體造價(jià)相對(duì)較低,適合預(yù)算有限的實(shí)驗(yàn)室或研究機(jī)構(gòu)。維護(hù)和保養(yǎng)相對(duì)簡(jiǎn)單且費(fèi)用較低,降低了長(zhǎng)期運(yùn)營成本。
  缺點(diǎn):
  1、分辨率有限:雖然鎢燈絲掃描電鏡的分辨率已經(jīng)相對(duì)較高,但相比于場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡等設(shè)備,其分辨率仍有一定差距。
  2、難以滿足對(duì)超高分辨圖像的需求,特別是在納米尺度下的精細(xì)結(jié)構(gòu)觀察。
  3、發(fā)射效率低:鎢燈絲的總發(fā)射束流雖大,但束流密度小,發(fā)射效率低。這可能導(dǎo)致信噪比較差,影響圖像的清晰度和準(zhǔn)確性。

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