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技術(shù)文章

SEM掃描電鏡是如何得到圖像的?

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  SEM掃描電鏡利用電子束對樣品進(jìn)行納米級分辨率的圖像分析。燈絲釋放出電子,形成平行的電子束。然后,電子束通過透鏡聚焦于樣品表面。可應(yīng)用于微觀形貌、顆粒尺寸、微區(qū)組成、元素分布、元素價(jià)態(tài)和化學(xué)鍵、晶體結(jié)構(gòu)、相組成、結(jié)構(gòu)缺陷、晶界結(jié)構(gòu)和組成等。
  SEM掃描電鏡通過光柵掃描技術(shù)來產(chǎn)生標(biāo)本的放大圖像。它引導(dǎo)聚焦的電子束穿過樣品的矩形區(qū)域,當(dāng)電子束通過時會產(chǎn)生能量損失。該能量會被轉(zhuǎn)換成熱、光、二次電子等能量同時反向散射電子。此時通過軟件系統(tǒng)進(jìn)行翻譯轉(zhuǎn)換后得到清晰的標(biāo)本圖像信息。從成像原理分析,掃描電子顯微鏡的分辨率會比透射電子顯微鏡的分辨率稍差。但它的優(yōu)勢在于可以利用表面處理,創(chuàng)建大樣本的圖像,尺寸可達(dá)幾厘米,并且具有較大的景深。
  SEM掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn):
  1、有較高的放大倍數(shù),20-20萬倍之間連續(xù)可調(diào);
  2、有很大的景深,視野大,成像富有立體感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu);
  3、試樣制備簡單。

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